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来源:yl23455永利 时间:2011-03-14 浏览:
专利类型:发明专利
1. 专利名称:一种微型皮拉尼计
发明人:汪学方;刘川;罗小兵;黎藜;张卓;甘志银;张鸿海;刘胜
2. 专利名称:一种微机系统的圆片级真空封装工艺
发明人:汪学方;黎藜;张卓;刘川;甘志银;张鸿海;刘胜
3. 专利名称:一种微机电系统的圆片级真空封装方法
4. 专利名称:MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法
发明人:汪学方;刘川;张卓;罗小兵;甘志银;张鸿海;刘胜
特此公示十五天,对此如有异议,请于公示之日起五个工作日内向yl23455永利员工工作办公室提出,联系电话87541745
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